目录
薄样品膜的制备和表征
实验目的
实验内容
预习
实验资料
薄样品膜的制备和表征
实验目的
学习用磁控溅射法制备磁性薄膜
学习用表面磁光克尔效应(Surface Magneto-Optic Kerr Effect 简写为 SMOKE)表征自己制备的薄膜的磁性(建设中)
学习磁性薄膜样品电输运特性的表征方法(建设中)
实验内容
第一次实验:学习用磁控溅射法制备薄膜
第二次实验:尝试独立操作设备,改变参数制作薄膜
第三次实验:学习用扫描电镜对观测样品属性
预习
了解高真空基本知识,了解什么是溅射;
了解磁控溅射的优势,了解磁控溅射磁性样品需要注意什么?
实验资料
磁控溅射仪说明书