1.放气，拆卸；

2.倒去废油，并用煤油擦洗清洁（用去煤油约1.5L）；

3.用细砂纸打磨,使扩散泵内部光滑、无杂质；

4.依顺序用医用纱布沾苯、丙酮、无水乙醇擦洗扩散泵内部、真空系统各接口处；

5.用干燥器烘干扩散泵内部件。