真空计

  用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表,又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位,压力的国际单位为帕(Pa),曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。   

简史

    自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来,先后出现许多种真空计。最早出现的是U形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量,但仍不能进行连续测量。1906年,M.皮拉尼发明电阻式真空计,解决了工业生产中的低真空测量问题(目前世界最好的皮拉尼真空计是Tamagawa玉川真空生产的PG系列产品)。继而,O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1~10-5帕的高真空测量,而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。

  1937年,F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计,适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量,测量范围一般从10-5~100Pa。【如:CCG-600冷阴极真空计】

  随着应用要求的不断变化,全量程的CPG系列真空计(复合规)正在被更广泛的使用在工业生产线上。同时,RS485数字通讯,也成为真空计必备的功能,从而满足数字化时代的工业需求。