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　　RBS就是大角度卢瑟福散射。用加速器产生的带电粒子束打在待测样品上，通过测量散射粒子的能谱，得到元素种类、样品厚度及杂质深度分布的信息。该方法属于无损测量，可以得到定量的结果，测量范围为20-1000 nm。

1. 测量标样。
2. SIMNRA模拟标样，完成刻度。
3. 测量待测样品。
4. SIMNRA模拟待测样品，根据标样得到的刻度系数，求出待测样品的厚度或者某种元素的含量。

1. 深入理解能谱图，理解各个峰的物理含义，包括峰高度，峰宽度，衬底的边沿等。
2. 讨论理解实验结果和模拟结果不符合的原因。
3. 深入探索SIMNRA的各个参数对模拟结果的影响。

1. 利用示波器观察，通过改变前置放大器与硅探测器的共地性能，降低探测器信号的噪声，提升探测器的能量分辨率。观察探测器的能量分辨率提升后，对探测能谱的影响。
2. 调节探测器的放置角度，对比分析其对质量分辨率的影响。

1. 用三维转交仪改变探测样品的角度，观察能谱图的变化，并给出相应的物理解释。

1. 动手能力。如何操控硅探测器，以及三维转角仪。
2. 团队合作能力。实验过程中，在不破坏真空的情况下，转换测试样品，需要前后实验同学的正确交接及恰当操作。
3. 模拟能力。需要通过SIMNRA的模拟，才能得到刻度系数，厚度或者元素含量等信息。

1. 加速器的工作原理。
2. 卢瑟福背散射的基本原理。
3. 运动学因子，能量损失因子，截面等基本概念。
4. 质量分辨相关的因素。
5. 深度分辨相关的因素。
6. 如何选择加速器粒子的种类，粒子的能量。
7. 如何摆放探测器。
8. SIMNRA模拟的基本原理。

材料，凝聚态

沟道效应实验