又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。

通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有 3个电极：阴极（灯丝）、螺旋形栅极（加速极）和圆筒形收集极。测量时，规管与被测真空系统相连。通电后，热阴极发射电子，在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。电离所产生的电子和离子,分别在加速极和收集极（带负电位）上形成电子流Ie和离子流Ii。在被测气体压力低于10-1帕的状况下,当电子流Ie恒定时，离子流Ii与被测真空系统中的气体分子密度（亦即压力p）成正比。因此,离子流的大小就可作为压力的度量。这种真空计的测量范围为10-1～10-5帕。

　　此外,还有测量上限能达102帕以上的高压力电离真空计。这种电离真空计在工作时，阴极发射的电子撞击加速极时产生软性 X射线，照射到收集极上时便引起收集极的光电子发射，因而就在离子流测量回路中增加一个与被测压力无关的剩余光电流IX,限制测量下限的扩展。为了减少这种软 X射线对收集极的影响，人们又研制出BA式电离规管。它是将收集极改为针形，并与阴极的位置对换，这样使光电流IX大为减少，使压力测量下限从10-5帕扩展到10-8帕左右，从而解决了超高真空测量的问题。

热偶规由规管和控制单元组成，规管的结构如图所示，规管由加热丝和测温热偶丝组成。在低压强时，气体的热传导系数与气体的压强有关，热偶规就是根据这个原理设计的。热偶规的量程约为 1~100Pa ，可用于粗真空的测量。