JK100机组使用的真空计

   

电阻真空计

 

又称皮喇尼真空计,是一种测量低真空的相对真空计,主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝,常用的为钨或铂丝。测量时,规管与被测真空系统相接,用一定的电压、电流加热电阻丝,其表面温度可用电阻值来反映,且与周围的气体分子的热传导有关,而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时,由气体分子传走的热量减小,电阻丝表面温度就增高,电阻值增大;反之,电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。

   

热阴极电离真空计

 

通称电离真空计,主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似,有 3个电极:阴极(灯丝)、螺旋形栅极(加速极)和圆筒形收集极。测量时,规管与被测真空系统相连。通电后,热阴极发射电子,在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。电离所产生的电子和离子,分别在加速极和收集极(带负电位)上形成电子流Ie和离子流Ii。在被测气体压力低于10-1帕的状况下,当电子流Ie恒定时,离子流Ii与被测真空系统中的气体分子密度(亦即压力p)成正比。因此,离子流的大小就可作为压力的度量。这种真空计的测量范围为10-1~10-5帕。

电离规1.jpg

  此外,还有测量上限能达102帕以上的高压力电离真空计。这种电离真空计在工作时,阴极发射的电子撞击加速极时产生软性 X射线,照射到收集极上时便引起收集极的光电子发射,因而就在离子流测量回路中增加一个与被测压力无关的剩余光电流IX,限制测量下限的扩展。为了减少这种软 X射线对收集极的影响,人们又研制出BA式电离规管。它是将收集极改为针形,并与阴极的位置对换,这样使光电流IX大为减少,使压力测量下限从10-5帕扩展到10-8帕左右,从而解决了超高真空测量的问题。

   

热偶规

热偶规由规管和控制单元组成,规管的结构如图所示,规管由加热丝和测温热偶丝组成。在低压强时,气体的热传导系数与气体的压强有关,热偶规就是根据这个原理设计的。热偶规的量程约为 1~100Pa ,可用于粗真空的测量。

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  • 最后更改: 2010/02/01 09:58
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