真空系统虚拟仿真实验

• 实验内容：正确操作真空控制单元，使真空室达到高真空状态。

Fig:真空系统虚拟仿真实验界面截图

• 实验步骤：
  1. 熟悉界面上的所有符号；
  2. 按高真空操作的正确流程使真空室进入高真空状态。
• 思考题：
  1. 要使扩散泵能够正常工作，须满足哪些条件？
  2. 什么情况下会出现电离规被烧坏？